| 品牌 | 戈德尔 |
| 规格 | WB300 |
| 材质 | 金属 |
| 产地 | 山东招远 |
| 等离子发生器 | 频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节 |
| 外形尺寸 | 1000(W)×800(D)×1750(H)mm |
| 仓体结构 | Φ 245mm ×400Lmm |
| 控制系统 | 触摸电脑+PLC全自动控制 |
| 真空系统 | 真空压力PID闭环自动控制 |
| 充气系统 | 2路气体配制 |
WB300微波等离子清洗机采用高密度微波等离子技术，用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理，微波等离子高度活性、，且不会对电子装置产生离子损害微波等离子清洗机具有高度活性、，且不会对电子装置产生离子损害。
微波等离子清洗机主要用途：
·等离子体表面改性
·有机物表面等离子体清洁
·邦定强度增强
·等离子体刻蚀应用
·等离子体灰化应用
·增强或减弱浸润性
·其它等离子体系统应用
◆ 控制系统
触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
英国爱德华斡旋式干泵 GV40
◆ 充气系统
美国MKS电子质量流量计(2路气体配制)
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件