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Setra 的730 型是一款的电容式压力计（亦称电容
式膜片真空计 (CDG)），适合在光伏、半导体和工业市场
中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产品读数精
度达±0.5%，分辨率高，优于同类产品。730 型使用全
InconelTM 接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介
质。由于采用直接测量设计，它能测量介质，不受应
用中气体混合物成分的影响。
适合苛刻应用的产品
采用单膜片可变电容感应元件，适用于苛刻的半导体和工
业真空应用。它具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的
特点，使之成为关键制造过程中的理想选择。
Inconel® 设计保证通用性
所有接液部件均采用InconelTM 材料， 因此对半导体
和工业真空过程中的腐蚀性介质具有的耐受性。
InconelTM 材料结合全焊接结构， 确保730 型在这类
应用中的长使用寿命。
直接压力测量
内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业
电容式压力计不同，730 型测量直接压力， 不受被测
混合气的影响，这使其精度优于间接测量型压力计
特性
·：±0.5% 读数
·张紧的膜片保证优异的性能
·工作温度补偿范围宽
·回路噪声低，响应快
·不易受环境条件变化影响
·出色的抗过压设计
·符合CE 和RoHS 规范