品牌 | Werth |
规格 | EasyScope |
产地 | 德国 |
型 号
EasyScope200/150/150
测量范围
(X轴)
200mm
(Y轴)
150mm
(Z轴)
150mm
大允许测量误差1)
(E1 XY单轴)
(1.8+L(mm)/120)µm
(E2 XY平面)
(2.0+L(mm)/100)µm
(E1 Z 单轴 )
(2.5+L(mm)/120)µm
分辨率
0.1µm
工作台承重
20kg
定位速度
150mm/s
加速度
300mm/s2
1)精度保证环境条件
20℃±1oΔ=0.1o/h
精度检定光学放大倍率
5X
可选配专利Werth Zoom高放大倍率(0.68-6.8X或1-10X),大工作距离(80mm标准或20mm-220mm可变)十级自动变焦系统,更高测量精度可选
依据标准ISO 10360 和VDI/VDE 2617