型 号
VI2010
VI3030
VI6040
VIB9060
VIB1210
测量范围
X
200mm
300mm
600mm
600mm
1000mm
Y
100mm
300mm
400mm
600mm
1000mm
Z
155mm
155mm
155mm
200/500mm
200/500mm
大允许误差(光学)
E(X Y)=(1.8+L/100)µm
大允许误差
E Z=(2.8+L/100)µm
工作台面积
457 x 336mm
557 x 534mm
工件大重量
25kg
X,Y轴驱动类型
CNC,电动,带手动摇杆,快速移动
摄像系统
CCD相机,分辨率752x582,480TVL PAL 制式
放大倍数
使用标准镜头30x£200x,使用附加0.5x及2.0x镜头15-400x