品名
成分/化学式
纯度
规格
硅铝合金
Si90Al10
3N/4N
平面靶/旋转靶
氧化钛
TiOx
4N
平面靶/旋转靶
镍铬合金
Ni80Cr20
3N
平面靶
钛
Ti
2N7
平面靶/旋转靶
高纯石墨
C
4N
平面靶
氧化锌铝
AZO（ZnO-2~3Al2O3）
3N5
平面靶
锡
Sn
3N
平面靶/旋转靶
锌锡合金
Zn52Sn48
3N
平面靶/旋转靶
锌铝合金
Zn98Al2
3N
平面靶/旋转靶
铬
Cr
2N5/3N/3N5
平面靶/旋转靶
不锈钢
316L
—
平面靶/旋转靶
硅
Si
5N
平面靶/旋转靶
纯铝
Al
4N/5N
平面/旋转靶
铝钕合金
Al97Nd3
4N/5N
平面/旋转靶
铜
Cu
3N
平面/旋转靶
钼
Mo
3N5
平面/旋转靶
钼铌合金
MoNb
3N5
平面/旋转靶
氧化铌
Nb2Ox
4N
平面/旋转靶
硅
Si
5N
平面/旋转靶
二氧化硅
SiO2
4N
平面靶
氧化铟锡
ITO
4N
平面靶