碳化硅氧化炉 真空退火炉 晨立电子

所在地: 山东省 青岛市
发布时间: 2025-02-05
详细信息

主要技术参数                            

◆工艺管数量:可根据客户需求制作为1-4管

◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)

◆气体流量设定精度:±1%F.S

◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s

◆结构型式:卧式热壁型或立式

◆工作温度范围:400~1280℃

◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm

◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)


◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)

         噪音:≤62dB(A)

       震动:≤3μm

◆控制方式: 工业微机控制

◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制



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