扩散炉炉体 加热器

所在地: 山东省 青岛市
发布时间: 2024-02-17
详细信息
品牌晨立
规格CL-
材质不锈钢
产地中国

详细说明扩散炉体 加热炉体        

一、炉体材料:

★   炉丝:Φ8~Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。

★   绝缘子:采用99瓷制作,碳化硅管用高脚,石英管用矮脚。

★   保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。

★    外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。

★    热偶座:进口弹簧卡状固定座。

★    把口环:陶瓷纤维把口环,既保温,又有机械强度。

 二、炉体参数:

★   工作温度:   ≤1300℃

★   恒温区长度: 500mm-1000mm

★   炉体内径:   Φ90~Φ360 mm(3~12英寸)

★   规范使用:   寿命可达20个月以上(1200℃)

★   替代进口:   配套

三、应用:      

    青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、THERMCO,荷兰ASM,英国BTU等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外的加工工艺,选用进口材料,可应用于处理3~12英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。


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