| 产地 | panjingjing |
大学石墨烯制备炉PECVD产物简介：此款装备配有Plasma完成等离子加强，滑轨式设计在操纵时可将试验需要的恒定低温间接推到样品处，使样品能获得一个疾速的升温速率，异样也可将低温的管式炉间接推离样品处，使样品间接裸露在室温情况下，获得疾速的降温速率。并可选配氛围微调装配，可的节制反响腔体外部的气体压力，带刻度的调理阀对付做高压CVD异常简略适用，工艺反复性好，对付石墨烯发展工艺异常适合，也异样适用于请求疾速升降温的CVD试验。
大学石墨烯制备炉PECVD重要功效和特色：
1、应用辉光放电发生等离子体电子启动气相；
2、进步了气相反响的堆积速率、成膜品质；
3、可通过调剂射频电源频率来节制堆积速率；
4、能普遍用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的发展。
大学石墨烯制备炉PECVD
开启式真空管式炉技巧参数
石英管尺寸 L1400mm Φ（60、80、100）
加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝
测温元件 K型热电偶
加热区长度 410mm
恒温区长度 200mm
事情温度 ≤1100℃
控温形式 隐约PID节制和自整定调理，智能化30段可编程节制，具备超平和断偶报警功效
控温精度 ±1℃
升温速率 ≤20℃/min
电功率 AC220V/50HZ/3KW
品质供气体系技巧参数
形状尺寸 600x600x600mm
尺度量程 50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）；
数显压力表丈量规模 -0.1Mpa～0.15Mpa
极限压力 3MPa
针阀 316不锈钢
截止阀 Φ6mm 316不锈钢针阀
电功率 AC220V/50HZ/20W
回应光阴 气特征：1～4 Sec，电特征：10 Sec
度 ±1.5%
线性 ±0.5～1.5%
反复精度 ±0.2%
界面 Φ6,1/4''
真空体系技巧参数
造型尺寸 600×600×600mm
事情电电压 220V±10% 50~60HZ
功率 400W
抽气速率 4Ls
极限真空 4X10-2Pa
试验真空度 1.0X10-1Pa
容油量 1.1L
进气口口径 KF25
供電電壓 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ
整機效率 >=70%
功率因素 >=90%
冷卻方式 強制風冷