镀层测厚仪器,膜厚分析仪

所在地: 广东省 深圳市
发布时间: 2018-05-09
详细信息

仪器规格:

● 外形尺寸:360 mm x 600mm x 385 mm (长x宽x高)

● 样品仓尺寸:360mm×400mm x160(长x宽x高,高度可定制)

● 仪器重量:50kg

● 供电电源:AC220V/ 50Hz

● 大功率:330W

● 工作温度:15-30℃

● 相对湿度:≤85%,不结露

应用领域:

● 根据不同基体样品,配备三种算法,增加样品测试度。

● 配备开放式分析模型功能,客户可自行建立自己的工作模型。

硬件配置:

探测器

● 类型:X123探测器(原装进口电致冷半导体探测器)

● Be窗厚度:1mil

● 晶体面积:25mm2

● 佳分辨率:145eV

●信号处理系统:DP5


X射线管

●电压:0-50v

●大电流;2mA

●大功率:50W

●靶材:Mo

●Be窗厚度:0.2mm

●使用寿命:大于2w小时


高压电源

●输出电压:0-50Kv

●灯丝电流0-2mA

●大功率:50w

●纹波系数:0.1%(p-p值)

●8小时稳定性:0.05%


摄像头

●焦距:微焦距

●驱动:免驱动

●像素:500万像素


准直器、滤光片

●系统:快拆卸准直器、滤光片系统

●材质:多种材质准直器

●光斑:光斑大小Φ0.2mm、Φ1.0mm、Φ2.0mm、Φ4.0mm可选


十字激光头

●光斑形状:十字线

●输出波长:红光650nm

●光学透镜:玻璃透镜

●尺寸:Φ10×30mm

●发散角度:0.1-2mrad

●工作电压:DC 5V

●输出功率:<5mW

●工作温度:-10~50℃


其它配件

●开关电源:进口开关电源

●散热风扇:进口低噪声、大风量风扇

产品特点:

1.1全自动三维样品台

1.2 X射线向下照射式,激光对焦

1.3小光斑设计


1.4测试时间灵活性调节

1.5多规格样品仓

1.6 X-Ray探测器

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