气体分析仪 HiQuad™
伯东公司普发 Pfeiffer 气体分析仪 HiQuad™, 可实现高达 125μs / amu 的测量速度, 使用 Quadera® 软件, 操作简单. 质谱分析仪模块化设计方便集成, 根据实际需要可以自由选择质量范围, 杆直径, 离子源, 探测器和界面.
Pfeiffer 质谱分析仪 HiQuad™优势
1. 模块化设计灵活
2. 使用 Quadera® 软件, 操作简单
3. 的测量速度, 高达 125μs/ amu
4. 的灵敏度且动态范围宽
5. 内置的互联网浏览器和 OPC 服务器用于与基于 PC 的程序进行通信
质谱分析仪 HiQuad™ 技术规格
质量数 amu
1-128
1-300
1-512 *3)
低检测限 mbar
5X10-16
2X10-15
1X10-15
Ar 灵敏度,低 *1) A/mbar
1X10-3
2X10-4
5X10-4
大操作压力 mbar
法拉第
1X10-4
1X10-4
1X10-4
SEM
1X10-5
1X10-5
1X10-5
分压比 SEM ppb
< 0.3
< 1
< 0.5
分析仪
QMA 410
QMA 430
QMA 400
杆系统, 材料 / 直径 mm
Mo / 16
不锈钢 / 8
Mo / 8
射频发生器 (RF)
QMH 400-1
QMH 400-5
QMH 400-5
静电计前置放大器
EP 422
EP 422
EP 422
工作温度 / 分析仪°C
150
150
150
烘烤温度 / 分析仪 *2) °C
400
400
400
连接法兰
DN 100 CF-F
DN 63 CF-F
DN 63 CF-F
*1) 偏转单元中的法拉第,标准分辨率,带磁铁的交叉束离子源,发射 1 mA
*2) 带磁铁, 高 300°C
*3) 八小时内稳定性 < 0.1%, 有助于对相邻质量数 40Ar / 41
Pfeiffer 质谱分析仪 HiQuad™应用
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