残余气体分析仪 Hicube RGA
上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.
残余气体分析仪 Hicube RGA 优势
残余气体分析和氦气泄漏检测模式
可用于从大气压至高真空环境
高分辨率和灵敏度
通过真空压力监测保护灯丝
进气系统带集成式切断阀
Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格
涡轮分子泵组
HiCube™ Eco
功耗
170W
电压(范围)
110 - 240 V; 50 / 60 Hz
氮气抽速
67 l/s
前级泵在 50 Hz 时的泵送速度
1 m3/h
极限真空
<1X10-7 hPa
真空计
PKR 361
测量范围
1X10-9 至 1X103 hPa
阀门
EVN 116
气体流量
可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s
进气口
DN 16 ISO-KF
PrismaPro
QMG 250 F1
QMG 250 F2
QMG 250 F3
QMG 250 M1
QMG 250 M2
QMG 250 M3
检测器
法拉第 Faraday (F)
电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
质量数 amu
1–100
1–200
1–300
1–100
1–200
1–300
四极杆直径/长度
6 /125 mm
小检测极限 F hPa *1,2
4X10-13
5X10-13
7X10-13
-
-
-
小检测极限 M hPa *1,2
-
-
-
3X10-15
4X10-15
5X10-15
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3
5X10-4
4X10-4
3X10-4
5X10-4
4X10-4
3X10-4
大工作压力 F hPa
5X10-4
大工作压力 M hPa
-
-
-
5X10-5
5X10-5
5X10-5
对临近质量数的影响*1
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
操作温度 分析
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作温度 电子
5 – 50 °C
烘烤温度 分析
300 °C
连接法兰
DN 40 CF-F
保压时间
1 ms – 16 s/amu
峰比值可重复性
± 0.5 %
接口
以太网
电源电压
100–240 V AC,50/60 Hz
HiCube™ RGA重量
25.5 - 26.2 kg
残余气体分析仪 Hicube RGA 典型应用
残余气体分析: 对真空系统中残余气体的分析, 可以获知在达到所需的终压力或调节要求时, 残余物质的组成. 由此可以得出各种有关系统表面性质, 脱附行为, 纯度和密封性以及工艺气体成分的结论. 这将为您提供有关真空室或真空组件状态的重要信息.
泄漏检测: 上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 具有氦气泄漏检测模式, 可以通过软件控制激活. 此功能可以方便您发现真空系统中的任何泄漏.
过程监控: HiCube RGA 可以在大 300u 的测量范围内随时间观察任意数量的选定质量强度, 并可对选定的各质量分配警报循环阈值. 如果它们高于或低于所需极限, 则可以通过数字输出将信号提供给更别的控制系统. 因此残余气体分析仪 HiCube RGA 能够提供实时过程观察和控制功能. EVN 116 气体计量阀还可以使真空系统中的压力适应相应过程需求, 此外, 集成式切断阀还允许对泄漏设定点进行快速开/关控制.
和过程优化: 诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测真空镀膜过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐 台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1322 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 ( 微信同号 ) M: +886-939-653-958
qq: 2821409400
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267
上海伯东版权所有, 翻拷必究!