全磁浮涡轮分子泵 ATH 3204 M,对氮气的抽速高可达 2800 l/s,水冷。外部分子泵驱动电路。全磁浮涡轮分子泵可以安装在任何方向。CE标志和通过无铅认证。全磁浮涡轮分子泵核心科技是五轴控制全磁浮轴承,免维护,无需润滑,保证分子泵内部清洁无油。全磁浮轴承保证了转子的稳定性,在高速运转过程中无摩擦,无磨损,低噪音低振动,可延长分子泵的使用寿命。
全磁浮涡轮分子泵 ATH 3204 M 多种配置可选 满足不同需要:
1.两种密封方式:DN 320 ISO-F/VG 350
2.另有可加热款(抗腐蚀 ATH 3200 MT)供客户选择
全磁浮涡轮分子泵 ATH 3204 M 技术参数:
轴承
五轴控制全磁浮轴承
转速
25000 min-1
对氮气的压缩比
> 1 · 10 8
大进气压力N2
2.1 hPa
对氮气的抽速
2800 l/s
启动时间
< 10 min
极限真空度
< 6 · 10-9 hPa
重量
85(分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg
全磁浮涡轮分子泵 ATH 3204 M 对不同气体的抽速:
全磁浮涡轮分子泵 ATH 3204 M 对不同气体的抽速:
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