Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 2800 IT
上海伯东德国 Pfeiffer 适用于离子注入系统的涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT.
在离子注入系统中, 氢气等小分子气体的抽速非常重要, 此款涡轮分子泵精巧的转子设计保证小分子气体的更大抽速, 确保了针对离子注入工艺的适应性, 涡轮分子泵 HiPace 2800 IT 针对氢气抽速高达 2600 l / s, 是同级别分子泵中佼佼者.
涡轮分子泵 HiPace 2800 IT 采用智能温度管理系统, 减少泵系统内部的工艺冷凝和沉积, 该系统允许单独设置温度, 确保涡轮分子泵能够适应工艺需求. 镀镍转子确保泵本身性.
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 产品优势
1. 氢气抽速高达 2600 l / s
2. 镀镍转子更
3. 采用智能温度管理系统,能自适应工艺条件, 减少泵内冷凝和沉积
4. 使用寿命更长
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 技术参数
法兰（进气端）
DN 250 ISO-F
法兰（出气端）
DN 40 ISO-KF
排气连接
G 1/8“
氮气抽速
2,300 l/s
氩气抽速
2,100 l/s
氦气抽速
2,900 l/s
氢气抽速
2,600 l/s
转速
±2 % 27,300 rpm
运行时间
8.6 min
在全转速情况下的氮气气流量
16 hPa l/s
在全转速情况下的氩气气流量
11 hPa l/s
在全转速情况下的氢气气流量
50 hPa l/s
在全转速情况下的氦气气流量
24 hPa l/s
氮气压缩比
> 1X108
氩气压缩比
> 1X108
氦气压缩比
6X104
氢气压缩比
4X103
氮气大前级真空
0.8 hPa
根据 PNEUROP 的极限压力
< 1X10-7 hPa
重量
62 kg
冷却方法
水
冷却水耗量
100 l/h
冷却水温度
15 – 25 °C
接口
E74, RS-485
大允许磁场
3.4 mT
声压水平
< 50 dB(A)
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 适用领域: 离子注入机, 苛刻工艺
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT尺寸
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 在售型号
型号
订货号
HiPace 2800 IT
PM P05 241
HiPace 2800 IUT
PM P05 246
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