Pfeiffer 普发分子泵 HiPace 60P
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 60P 抽速可达到 64 l/s. 分子泵 HiPace 60P 集成氮气吹扫阀, 耐粉尘, 特别适合工业环境, 无 Holweck-stage, 通过保护等级 IP54. 集成控制器 TC 110 保证分子泵的性. 涡轮分子泵 HiPace 60P 可以安装在任何方向, 自然水冷或风冷.
分子泵 HiPace 60P 技术参数:
型号
HiPace® 60 P,TC 110, DN 63 ISO-K
HiPace® 60 P,TC 110 RS,DN 63 ISO-K
复合轴承
陶瓷球轴承
Ar 压缩比
2 X106
H2 压缩比
2 X102
He 压缩比
3.5 X103
N2 压缩比
1 X106
标准冷却
对流
可选冷却
风冷, 水冷
冷却水消耗
75 l/h
冷却水温度
5-25 °C
电子驱动
TC 110
TC 110 RS
进气法兰
DN 63 ISO-K
排气法兰
DN 16 ISO-KF, G ¼"
大预抽真空, N2
4 hPa
全转速时气体流量, Ar
0.83 hPa l/s
全转速时气体流量, H2
55 hPa l/s
全转速时气体流量, He
55 hPa l/s
全转速时气体流量, N2
9.2 hPa l/s
通讯接口
RS-485, Remote
安装方式
任意位置安装
操作电压
24 (± 5 %) V DC
允许大磁场
4 mT
保护类型
IP 54
抽速 Ar
63 l/s
抽速 H2
28 l/s
抽速 He
48 l/s
抽速 N2
64 l/s
转速 ± 2 %
90,000 rpm
启动时间
1.1 min
1 min
极限真空
< 1X10-6 hPa
放气接口
G 1/8"
重量
2.2 kg
2.3 kg
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分子泵应用 HiPace 60P: 专为抽气环境含小颗粒悬浮物设计研发, 耐粉尘设计, 广泛应用于镀膜和工业领域.
镀膜: 光伏, CD / DVD / PVD
研发: 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造
涡轮分子泵 HiPace 60P 对不同气体抽速
涡轮分子泵 HiPace 60P 尺寸图
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 60P 目前在售型号
分子泵 HiPace 60 P TC 110 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 60 P TC 110 RS DN 63 ISO-K
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