Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1200
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可达 1250 l/s 的涡轮分子泵. 对各种气体均有高抽吸能力, 高工艺适用性, 防止进入颗粒. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54. 通过控制器, 监控运算数据尽可能的保证分子泵的性. 涡轮分子泵 HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. 涡轮分子泵 HiPace 1200 通讯接口 RS-485, 远程遥控(Profibus/DeviceNet 备询), 多种配件供客户选择.
涡轮分子泵 HiPace 1200 特性
对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
监控运算数据尽可能的保证分子泵的性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1200 技术规格
型号
HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-K
HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-F
HiPace 1200 TC 1200
DN 200 CF-F
Ar 压缩比
>1X108
>1X108
>1X108
H2 压缩比
6X103
6X103
6X103
He 压缩比
2X104
2X104
2X104
N2 压缩比
>1X108
>1X108
>1X108
大预抽真空, N2 hPa
2
2
2
Ar全转速时气体流量hPa l/s
11
11
6
H2 全转速时气体流量hPa l/s
>30
>30
>30
He全转速时气体流量hPa l/s
>30
>30
16
N2 全转速时气体流量hPa l/s
20
20
16
操作电压 V AC
100-120 / 200-240
100-120 / 200-240
100-120 / 200-240
大电流 A
10
10
10
允许大磁场 mT
6
6
6
Ar抽速l/s
1200
1200
1200
H2 抽速l/s
1100
1100
1100
He 抽速 l/s
1300
1300
1300
N2 抽速l/s
1250
1250
1250
转速 ± 2 % rpm
37800
37800
37800
启动时间 min
2.5
2.5
2.5
极限真空 hPa
1X10-7
1X10-7
5X10-10
重量 kg
29.5
30.5
40.9
标准款涡轮分子泵 HiPace 1200 在售型号
高工艺适用性, 防止进入颗粒
进气口
分子泵控制器
I/O接口
集成电源包
资料下载
DN 200 ISO-K
另配 TCP 1200
TCP 1200
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DN 200 ISO-F
另配 TCP 1200
TCP 1200
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DN 200 CF-F
另配 TCP 1200
TCP 1200
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 远程
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 远程
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 远程
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
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DN 200 ISO-K
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 ISO-F
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 CF-F
TC 1200
E74, RS-485
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涡轮分子泵 HiPace 1200 U 在售型号
安装位置:高架 (90°-180°)
进气口
分子泵控制器
I/O接口
集成电源包
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 远程
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 远程
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 远程
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
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DN 200 ISO-K
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 ISO-F
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 CF-F
TC 1200
E74, RS-485
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耐腐蚀涡轮分子泵 HiPace 1200 C 在售型号
专为腐蚀性气体而设计, 带有附有涂层转子和耐腐蚀性气体的工作流体, 非常适用于腐蚀性气体应用
进气口
分子泵控制器
I/O接口
集成电源包
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 远程
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 远程
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 远程
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
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DN 200 ISO-K
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 ISO-F
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 CF-F
TC 1200
E74, RS-485
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耐腐蚀, 90°-180°安装位置涡轮分子泵 HiPace 1200 UC 在售型号
耐腐蚀,安装位置:高架 (90°-180°)
进气口
分子泵控制器
I/O接口
集成电源包
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 远程
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 远程
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 远程
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DN 200 ISO-K
TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
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DN 200 ISO-F
TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
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DN 200 CF-F
TC 1200
RS-485, 远程, Profibus
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DN 200 ISO-K
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 ISO-F
TC 1200
E74, RS-485
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DN 200 CF-F
TC 1200
E74, RS-485
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分子泵应用 HiPace 1200:
镀膜: LED, 光伏, 硬盘镀膜, 硬质涂层, 卷绕镀膜, 光学镀膜, CD / DVD / PVD
工业: 医学技术, 电子束焊接, 隔离真空, 灯管制造
研发: 聚变研究, 等离子研究, 模拟空间站, 基本粒子物理学, 生物技术
半导体: PVD, CVD, Beamline, MBE
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若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗女士 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
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