FS4000是广州迪川仪器仪表有限公司采用的微机电系统（MEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）
FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围大到50SLPM；可用于设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计
- 支持多种连接方式，易于安装与使用
- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
- 零点稳定度高
- 全量程高稳定性、高度和优良的重复性
- 低功耗、低压损
- 响应速度快
机械尺寸:
产品特点:
性能参数
FS4003
FS4008
单位
通径
3
8
mm
大流量
2, 3, 4, 5
10, 20, 30, 40, 50
SLPM
量程比
100:1
精度
±(1.5+0.2FS)
%
重复性
0.75
%
零点输出飘移
±30
mV
输出飘移
0.12
%/oC
响应时间
100
ms
工作电源
8~18Vdc,100mA
输出方式
线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc
大流量压损
100
600
pa
大工作压力
0.5
MPa
工作温度
-10 ~ +55
oC
存储温度
-20 ~ +65
oC
工作湿度
<95%rh<>（无结冰、无凝露）