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  • 箱式炉（BF系列）
  • 气氛炉（AF系列）
  • 管式炉（TF系列）
  • PECVD化学气相系统（TF-CVD系列）
  • 真空电阻炉（VRSF系列）
  • 真空气淬炉（VGQF系列）
  • 熔炼炉（VMF系列）
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